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二手CANON FPA-5500iZ+步进式光刻机

dgx6665个月前 (07-16)文章中心19

在半导体光刻工艺的核心战场上,二手 CANON FPA-5500iZ + 步进式光刻机堪称 “精密图形雕刻高手”!龙玺精密在众多半导体设备应用案例分享中,常提到它在成熟制程领域的稳定表现,深受行业关注!




硬核技术参数与性能
光源与分辨率:搭载 ArF 准分子激光光源(波长 193nm),配合高精度投影光学系统,可实现 65nm 及以上制程的光刻工艺,最小线宽分辨率达 65nm,让复杂电路图案精准 “落” 在晶圆上。
高效产能输出:采用步进式扫描曝光技术,每小时可处理 125 片晶圆,搭配自动晶圆传输系统,大幅提升光刻效率,满足量产需求。
超高套刻精度:套刻精度控制在 ±22nm 以内,内置双视场对准系统,确保多层光刻图案的精准叠加,有效保障芯片制造良品率。
智能操作与控制:人性化人机交互界面,支持多组工艺配方存储调用,可快速切换不同光刻参数;设备还具备自动对焦、自动调平功能,降低操作门槛。



广泛应用场景
无论是消费电子芯片、汽车电子芯片制造,还是传感器芯片、功率器件的生产,CANON FPA-5500iZ + 都能发挥关键作用!从晶圆光刻的关键环节,到芯片封装的微小结构加工,它都能以稳定性能助力企业提升生产效率。



作为二手设备,CANON FPA-5500iZ + 经过专业检测与维护,核心光学和运动部件性能依旧在线,是追求性价比的半导体企业优化产线的理想之选!



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